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真空密封的基本介紹

HIT:59077    DATE:2017/2/22 16:54:04


真空聯(lián)機密封性能取決于聯(lián)接處的泄露和真空材料的放氣

。對任何真空系統(tǒng)總希望漏、放氣量與密封形式
、密封材料、加工精度及裝配質量等諸多因素有關
，故在聯(lián)接處總會存在一定的漏
、放氣量，因此可根據(jù)真空系統(tǒng)工作的性質
，真空室工作工作應力的高低及其出口處抽氣速度的大小提出要求
。

真空系統(tǒng)中的壓力在高于10-5Pa真空范圍內(nèi)廣泛使用合成橡膠、環(huán)氧樹脂和塑料
。當真空度提到壓力10-7Pa的真空范圍時，這些密封材料就不能用了
，需要應用超高真空的密封材料如金或銅作墊圈
，而真空殼體不能用軟剛需要改用不銹鋼。
超真空氣體內(nèi)的氣體狀態(tài)是動態(tài)平衡狀態(tài)
。系統(tǒng)內(nèi)的壓力極限
，一方面與泵的有效抽速有關，另一方面與來自真空殼體及其內(nèi)部的零部件的氣流量有關
。因雖有系統(tǒng)的有效抽速由于泵有結構尺寸和費用的原因，總存在實際限制
。所以
，減少氣流量就成為達到超高真空狀態(tài)的基本設計目標，成為選擇超高真空材料的主要準則
。
作為真空系統(tǒng)內(nèi)部用的材料
，要求飽和蒸汽壓低，為了減少慢性解吸和體出氣
，要求能耐450℃高溫烘烤
，而不降低機械強度和不發(fā)生化學和物理損傷
。作為真空系統(tǒng)殼體材料
，要求能忽略氣體滲透，承受得住大氣壓的壓力
，烘烤期間耐空氣侵蝕和不發(fā)生漏氣
。此外，要求選用材料
，加工制作容易
，價廉易得。
對于真空度低于10-7Pa的超高真空
，雖然天然和合成橡膠是理想的密封圈材料
，彈性好
，裝配成真空密封后法蘭螺栓受力很小
，而且可以多次重復使用。但由于超高真空系統(tǒng)要求密封圈材料耐250℃烘烤
，實際上可可供選用的幾種橡膠材料都不能滿足要求
。真空度更高(即壓力更低)的超高真空，則必須采用金屬密封
。

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